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原装KTR RADEX-NC膜片式伺服联轴器系列 型号齐全
真空机器人是半导体前道集束型设备中各反应工艺腔室之间传输晶圆的核心部件,归属于禁运产品,已成为制约我国半导体整机装备制造的“卡脖子”问题。大气环境与真空环境之间的密封隔离与动力传递正是制约真空机器人性能提高的技术瓶颈。因此,真空机器人关键技术的突破及原型系统的创新设计,对实现具有自主知识产权的半导体整机设备核心部件具有重要的理论意义和实际应用价值。
KTR以内外轴式KTR磁性联轴器的建模与分析优化为主要目标,结合磁力传动技术和直接驱动技术,设计两自由度同轴布局的真空机器人动力传递轴系原型系统。
KTR首先分别建立了内外轴式KTR磁性联轴器的理论模型和三维有限元模型。改进了等效磁荷法和片电流法求解KTR磁性联轴器传递扭矩的数学模型,引入漏磁损失系数,分别得到了基于这两种方法的内外轴间隙式KTR磁性联轴器的*大扭矩简化公式,扩大了模型的适用范围,显著提高了这两种方法的求解精度和效率。其中,片电流法在求解精度上提高了25%-30%,等效磁荷法精度提高了4%-30%,求解效率提高超过了一倍。
通过使用片电流法,等效磁荷法和三维有限元模型,全面地分析了KTR磁性联轴器几何参数与其*大扭矩、*大扭矩体积比,以及启动扭转刚度的关系。并使用三维有限元法分别对轭铁的导磁效应、多组KTR磁性联轴器间的磁耦合效应以及四种不同构型的内外轴式KTR磁性联轴器进行了仿真分析。
分析结果被应用于KTR磁性联轴器的优化设计 基于KTR磁性联轴器在真空机器人轴系中实际应用时的耦合工况,以同时优化两组KTR磁性联轴器为例,建立了KTR磁性联轴器设计几何参数优化的目标函数。创新地提出了一种基于正交实验设计技术的小范围穷举优化设计方案,该方案纵观全局的设计参数,结合了解析法运算效率高和三维有限元法求解精度高的优点,利用正交实验法和小范围穷举法显著地减少了分析模型的数目,是一种高效实用、稳定可靠的优化方法。本例中,*终的优化参数组比正交表中可获得的相对*优参数组的指标值提高了约30%,优化结果与设计的目标值一致。 研制了具有两自由度同轴布局的真空机器人动力传递轴系原型系统。结合真空机器人的开发,创新地将隔离密封套设计为台阶式的空心薄壁容器构件,并对隔离套的强度和径向变形进行了校核,对隔离套上的涡流损失进行了研究分析。
此外,提出了一种适用于真空机器人的KTR磁性联轴器设计方案,对分体式直接驱动电机轴系的设计进行了研究,对下一代真空机器人的研发有着重要的参考价值。 *后,研制了可测试KTR磁性联轴器内外转子间偏位影响的实验平台,进行了轴向偏位、径向偏位,和角向偏位对内外轴式KTR磁性联轴器传递扭矩和动态性能的影响测试。
实验结果表明,在实际应用中,偏位对内外轴式KTR磁性联轴器的传递扭矩和动态跟踪特性影响很小。实验中,KTR磁性联轴器的动态跟踪性能良好,在启动阶段,响应时间小于0.0ls；当峰值速度为670deg／s,加速度为1260deg／s2时,稳定时间tS为0.35s,各种偏位情况下的*大跟踪误差δ均为20'左右,稳态误差ess在2’左右。此外,对轴系的定位精度和重复定位精度,以及动态响应特性进行了测试,结果表明其具有良好的跟踪性能,稳态误差ess在3’左右,各组KTR磁性联轴器间的磁耦合效应很小.
德国KTR联轴器相关介绍：
1、KTR弹性膜片联轴器(DJM、JM、JMJ)——偏心允许范围大，拆装迅速。无噪音，磨损，无滑动、摩擦转动部件，可降低能量损耗；重量轻，适合高速运转场合；传动精度高，寿命长，可用于伺服定位系统。
2、KTR无齿隙联轴器(DGS)——预应力下无齿隙的连接，用于主轴传动、升降平台和机床等；轴向插入式装配，便于盲装，节省时间；尺寸小，转动惯量小，免维护；便于目测检查，不同的弹性体可供选择。
3、KTR万向联轴器(WSD、WS、WSS、WSF)——使用于联结空间同一平面上两轴线夹角β45°的传动场合。可分为单十字型、双十字型、可伸缩型和法兰型。具有传递扭矩大，使用寿命长，应用范围广等特点。它的应用特别是对冶金行业的技术改造及机械产品更新换代提供了在有利条件。
4、KTR螺旋弹性联轴器(STL)——高疲劳抵抗，等速回转。允许平行偏差0.25mm,角度偏差5°，轴向偏差+/-0.25mm。有铝合金和不锈钢材料可供选择，一体化、小型、低惯量，广泛应用于编码器及微型电机的传动联结。
5、KTR波纹管联轴器(BW)——高疲劳抵抗，等速回转，高扭矩刚性和灵敏度，零间隙回转。允许平行偏差0.25mm,角度偏差5°，轴向偏差+/-0.25mm。，一体化、小型、低惯量，广泛应用于高精度的传动联结。
德国KTR联轴器分为：ROTEX梅花弹性联轴器，BOWEX曲面齿联轴器，GEAREX鼓型齿联轴器，BOWEXFLE-PA柴油机法兰联轴器，BOWEXELASTIC高弹性法兰联轴器，MONOLASTIC小型弹性法兰联轴器，REVOLEXKX弹性套柱销联轴器，RADEX-N膜片联轴器，REGIFLEX-N膜片联轴器，ROTEXGS无齿隙弹性联轴器，TOOLFLEX波纹管联轴器，RADEX-NC膜片式伺服联轴器，
德国KTR力矩限制器分为：RUFLEX力矩限制器，SYNTEX力矩限制器，KTR-SI力矩限制器，
德国KTR胀紧套分为：CLAMPEX胀紧套KTR620，CLAMPEX胀紧套KTR603，CLAMPEX胀紧套KTR105，CLAMPEX胀紧套KTR200/201，CLAMPEX胀紧套KTR203/206，CLAMPEX胀紧套KTR250，CLAMPEX胀紧套KTR225，CLAMPEX胀紧套KTR400，CLAMPEX胀紧套KTR130，CLAMPEX胀紧套KTR131，CLAMPEX胀紧套KTR100，CLAMPEX胀紧套KTR150。
德国KTR万向节分为：G型和GD型带滑动轴承精密万向节，H型和HD型带滚针轴承精密万向节，GA型和HA型可伸缩精密万向节，精密万向节GR和HR带快速锁紧装置。
德国KTR钟形罩分为：PK，PL型规格从160，200，250，300，350，400，450，550，660，800，880
德国KTR冷却器分为：油冷却器-钟形罩内置油冷却器PIK，油冷却器—板式换热器PHE，油冷却器-油水冷却器TAK，油冷却器-风冷却器。
德国KTR油温控制和监测分为：液位计-带油温显示型和标准型，液位温度开关、透气塞、油位窥视镜，油温传感器、温度开关，温度控制器，油温加热器。
德国KTR减振元件分为：减振元件-电机减振条DSM，减振元件-D型和DT/DTV型减振环。
原装KTR RADEX-NC膜片式伺服联轴器系列 型号齐全
