Physik Instrumente P-561•P-562•P-563 PIMars纳米定位台
高精度纳米定位器，可容纳3个轴
并联运动学，响应时间更快，多轴精度更高
行程范围为300×300×300 µm
电容传感器带来的高线性度
零间隙，高精度挠曲导向系统
优异的扫描平整度
高动态XYZ版本
通光孔径66毫米×66毫米
PICMA压电执行器，使用寿命长
UHV版本达到10 -9 hPa
Physik Instrumente应用领域
扫描显微镜
掩膜/晶圆定位
干涉仪
测量技术
生物技术
扫描和筛选
电容式传感器的亚纳米分辨率
电容式传感器可在不接触的情况下以亚纳米分辨率进行测量。它们保证了出色的运动线性，长期稳定性以及kHz范围内的带宽。
自动配置和快速的组件更换
机械和控制器可以根据需要进行组合，并可以快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-sub连接器的ID芯片中。每次打开控制器时，数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。
适用于复杂的真空应用
压电系统中使用的所有组件都非常适合在真空中使用。无需润滑剂或油脂即可运行。不含聚合物的压电系统可实现极低的除气率。
Physik Instrumente PICMA压电执行器，使用寿命长
专利的PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这样可以保护它们免受潮湿和由于泄漏电流增加而引起的故障的影响。PICMA®执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍之多。已证明没有任何故障的1000亿次循环。
Physik Instrumente零游隙挠性导轨，导向精度高
挠性导板无维护，无摩擦和无磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且对冲击和振动不敏感。它们是100％真空兼容的，并且可在较宽的温度范围内工作。
平行位置测量，在纳米范围内具有很高的跟踪精度
所有的自由度均以单个固定参考为基准进行测量。轴之间不需要的串扰可以实时（根据带宽）得到主动补偿（主动引导）。即使在动态操作中，也可以在纳米范围内实现高跟踪精度。
三、Physik Instrumente产品分类
Physik Instrumente纳米定位压电弯曲平台
Physik Instrumente微型舞台
Physik Instrumente线性平台
Physik Instrumente线性执行器
Physik Instrumente旋转台
Physik Instrumentexy平台
四、Physik Instrumente产品型号；
Physik Instrumente  L-505.021212F
Physik Instrumente  L-505.AP1
Physik Instrumente G-901.R3197
Physik Instrumente P-734.2CL
Physik Instrumente E-501,00  
Physik Instrumente E-503,00  
Physik Instrumente E-509,C3A,
Physik Instrumente P-561.3CD
Physik Instrumente L-611.90AD
Physik Instrumente P-563.3CD
Physik Instrumente E-727.3CD
Physik Instrumente P-561.3CD
Physik Instrumente E-727.3CDAP
Physik Instrumente C-887.522
Physik Instrumente Hexapod H-811.F2:
Physik Instrumente U-780.DLS
Physik Instrumente N-565.160
Physik Instrumente N-565.260